高分辨x射線顯微鏡幾個軸線在同一直線(即光軸)上的空心金屬圓柱體,或顯微鏡平行排列且中心有圓孔的金屬膜片就是具有軸對稱結(jié)構(gòu)的電極。當它們加有一定電壓時,便可產(chǎn)生軸對稱分布的靜電場。這種撲電場可以使顯微鏡電子聚焦成像,因此稱為靜電顯微鏡。靜電透鏡有多種不同的類型。如果以加電壓后在對稱軸上產(chǎn)生的電位分布為特點,則大致可把顯微鏡分成四類:
單電位透鏡一高分辨x射線顯微鏡左右兩側(cè)的軸上電位是常數(shù)而且數(shù)值相等:浸沒透鏡一顯微鏡左右兩則的軸上電位各是常數(shù)但數(shù)值不等單光闌透鏡(也稱膜孔透鏡)一透鏡的作用集中在膜片圓孔附近。顯微鏡兩則的軸上電場強度各為常數(shù)。單獨的圓孔膜片沒有什么用處,但是它往往可用作某些復(fù)雜透鏡的組成部分:
浸沒物鏡一發(fā)射電子的物直接浸沒在這類顯微鏡的電場中,而透鏡另一側(cè)(即像方)的軸上電位是常數(shù)。除第4類外,其他三種睜電透鏡都可以看作顯微鏡,并從而推導(dǎo)出它們的物方焦距人和像方焦距關(guān)。第1,2兩類透鏡的焦距公式為:
不難證明單電位透鏡和浸沒透鏡中的焦距恒為正值,這意味著這些顯微鏡永遠是會聚的。而單光闌透鏡是唯一可構(gòu)成發(fā)散透鏡,至于浸沒物鏡的性能要根據(jù)具體情況來分析。鼓典型的一種例子是用于顯微鏡和其他電子束管中的電子槍。它的作用是形成有一定截面形狀和電流強度的電子束。