產(chǎn)品中心
PRODUCTS CENTER當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心MDP
產(chǎn)品分類
PRODUCT CLASSIFICATION少子壽命測(cè)試儀µPCD/MDP (MDPpro 850+)用于單晶硅錠、硅磚和硅晶圓片的生產(chǎn)和質(zhì)量監(jiān)控。用于HJT、HIT、TOPcon、雙面PERC、PERC+太陽能電池、鈣鈦礦等中的硅材料。
MDPmap單晶和多晶硅片壽命測(cè)量?jī)x被設(shè)計(jì)成一個(gè)緊湊的臺(tái)式非接觸電學(xué)表征工具,用于離線生產(chǎn)控制或研發(fā),在穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵(lì)(μ-PCD)下,在一個(gè)寬的注入范圍內(nèi)測(cè)量參數(shù),如載流子壽命、光導(dǎo)率、電阻率和缺陷信息。自動(dòng)化的樣品識(shí)別和參數(shù)設(shè)置允許輕松適應(yīng)各種不同的樣品,包括外延層和經(jīng)過不同制備階段的晶圓,從原生晶圓到高達(dá)95%的金屬化晶圓。
MDPlinescan在線少子壽命測(cè)試儀靈活的OEM少子壽命測(cè)試儀器,用于各種不同樣品的少子壽命測(cè)量,從單晶硅磚到多晶硅磚,從生長(zhǎng)的硅片到不同層或金屬化的硅片的過程控制。標(biāo)準(zhǔn)的軟件接口,便于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。
MDPspot少子壽命測(cè)試儀低成本桌面單點(diǎn)測(cè)量硅片或晶磚,用于在不同制備階段表征各種不同的硅樣品,無需內(nèi)置自動(dòng)化。可選手動(dòng)操作的z軸厚度高達(dá)156毫米的硅磚樣品,高達(dá)156毫米硅磚,結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件。
弗萊貝格的MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測(cè)儀--少子壽命)系列主要用于測(cè)量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等,其非接觸式檢測(cè)和無損成像(μPCD /MDP(QSS))的設(shè)計(jì)*符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)PV9-1110。這也使得該儀器在晶圓切割、爐內(nèi)監(jiān)控和材料優(yōu)化等領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用??梢哉f,MDPpro是晶錠生產(chǎn)商以及晶體爐技術(shù)生產(chǎn)商d的標(biāo)準(zhǔn)儀器。
MDPmap(MDPmap晶圓片壽命檢測(cè)儀--少子壽命測(cè)試)是一個(gè)緊湊的離線臺(tái)式檢測(cè)設(shè)備,主要被設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)控制或研發(fā)、測(cè)量少子壽命、光電導(dǎo)率、電阻率和缺陷信息等參數(shù)。其工作狀態(tài)為穩(wěn)態(tài)或短脈沖激勵(lì)下(μ-PCD)。
掃一掃,關(guān)注公眾號(hào)
服務(wù)電話:
021-34685181 上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號(hào)樓602室 wei.zhu@shuyunsh.com服務(wù)熱線:
021-34685181
17621138977