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產(chǎn)品分類
PRODUCT CLASSIFICATION靈活的OEM設(shè)備,用于多種不同樣品的在線壽命測(cè)量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過(guò)程控制。標(biāo)準(zhǔn)軟件接口,易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)。
晶圓片在線面掃檢測(cè)儀是一種用于快速定量測(cè)量載流子壽命并集成掃描功能的檢測(cè)儀。通過(guò)工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時(shí)間內(nèi),就可以“動(dòng)態(tài)”測(cè)量出晶圓圖。
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