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MDPinline(MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測)是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內(nèi),就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構,有效提高了生產(chǎn)線的成本效益和效率。且其實時質(zhì)量檢測可以提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟。
德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot(MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試)系統(tǒng)是快速多晶硅晶錠電學參數(shù)特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發(fā)的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命,光電導率,電阻率)都可以同時進行測量。
德國Freiberg Instruments的MDPicts(MDP微波探測光誘導電流瞬態(tài)譜儀--少子壽命),非接觸且無損傷,用于溫度依賴的少數(shù)載流子壽命測量以及半導體的界面陷阱和體陷阱能級的電性能表征。MDpicts將在半導體材料的基礎研究與開發(fā)領域取得廣泛的應用。
臺式PID(Potential Induced Degradation)潛在誘導退化測試儀,用于c-Si太陽能電池和光伏迷你組件的售前和安裝后質(zhì)量檢測。
晶圓片晶錠壽命檢測儀用于常規(guī)質(zhì)量控制、精密材料研發(fā)的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量
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